Influence of the Window Thermal Diffusivity on the Silicon Wafer Temperature in a Rapid Thermal System - Université d'Angers Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Heat Transfer Engineering Année : 2015
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-04139987 , version 1 (24-06-2023)

Identifiants

Citer

Pierre-Olivier Logerais, Raouf Khelalfa, Olivier Riou, Jean-Félix Durastanti, Anne Bouteville. Influence of the Window Thermal Diffusivity on the Silicon Wafer Temperature in a Rapid Thermal System. Heat Transfer Engineering, 2015, 36 (13), pp.1111-1121. ⟨10.1080/01457632.2015.987588⟩. ⟨hal-04139987⟩
13 Consultations
0 Téléchargements

Altmetric

Partager

Gmail Mastodon Facebook X LinkedIn More